Электронный каталог -Kumar, K. - Synthesis of Tantalum Nitride Diffusion Barriers for Cu Metal by Plasma Immersion Ion Implantation- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Kumar, K. - Synthesis of Tantalum Nitride Diffusion Barriers for Cu Metal by Plasma Immersion Ion Implantation

Kumar, K. - Synthesis of Tantalum Nitride Diffusion Barriers for Cu Metal by Plasma Immersion Ion Implantation

Доступно
1 из 1

Препринты
Автор: Kumar, K.
Synthesis of Tantalum Nitride Diffusion Barriers for Cu Metal by Plasma Immersion Ion Implantation
Серия: IC
Издательство: IC, 2002 г.
ISBN отсутствует

Заказать

На полку

Препринты
055584

Kumar, K.
Synthesis of Tantalum Nitride Diffusion Barriers for Cu Metal by Plasma Immersion Ion Implantation / K.Kumar, [a.o.]. – Trieste : IC, 2002. – 17 p. : il. – (IC ; 2002/80). – Bibliogr.:p.10-11.

3

Спец.(статьи,препринты) = С 353 - Физика плазмы

Филиал	Фонд	Всего	Доступно для брони	Доступно для выдачи	Бронирование
ЗИЛ		1	1	1	Заказать

Филиал

Фонд

Всего

Доступно для брони

Доступно для выдачи

Бронирование

ЗИЛ

Заказать