Электронный каталог

Статья

Бойцова, Е.Л.
Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления / Е.Л.Бойцова, Л.А.Леонова // Известия Российской Академии наук. Серия физическая. – 2018. – Т.82, №9. – с.1257-1262. – URL: http://dx.doi.org/10.3103/S1062873818090058. – Библиогр.:14.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$