Электронный каталог

Статья

Ташмухамедова, Д.А.
Изучение влияния внедренных атомов на коэффициенты распыления кремния и кремния с тонкой оксидной пленкой / Д.А.Ташмухамедова, [и др.] // Поверхность. – 2018. – №9. – с.78-81. – URL: https://doi.org/10.1134/S1027451018050117. – Библиогр.:12.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$