Электронный каталог

Статья

Фадеев, А.В.
Атомно-слоевое осаждение тонких пленок на 3D-наноструктуры: влияние наклона стенок и аспектного отношения тренчей / А.В.Фадеев, К.В.Руденко // Журнал технической физики. – 2018. – Т.88, №10. – с.1573-1580. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/46504. – Библиогр.:8.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$