Электронный каталог

Статья

Гончаров, А.А.
Сравнительный анализ влияния параметров ВЧ- и ПТ-магнетронного распыления на формирование структуры тонких пленок диборида тантала / А.А.Гончаров, [и др.] // Поверхность. – 2018. – №6. – с.33-37. – URL: http://dx.doi.org/10.1134/S1027451018030291. – Библиогр.:14.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$