Электронный каталог

Статья

Фадеев, А.В.
Аналитическая модель атомно-слоевого осаждения тонких пленок на стенки цилиндрических отверстий с высоким аспектным отношением / А.В.Фадеев, К.В.Руденко // Журнал технической физики. – 2018. – Т.88, №8. – с.1264-1272. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/46319. – Библиогр.:11.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$