Электронный каталог

Статья

Зайцев, С.В.
Влияние температуры отжига на микроструктуру и морфологию пленок TiN, синтезированных методом дуального магнетронного распыления / С.В.Зайцев, [и др.] // Журнал технической физики. – 2018. – Т.88, №8. – с.1224-1228. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/46313. – Библиогр.:12.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$