Электронный каталог

Статья

Щукин, В.Г.
Высокоэффективный источник электронов с полым катодом для технологий осаждения тонких пленок и обработки поверхностей при форвакуумных давлениях / В.Г.Щукин, [и др.] // Журнал технической физики. – 2018. – Т.88, №6. – с.914-919. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/46025. – Библиогр.:13.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$