Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Городецкий, А.Е. - Формирование пленок вольфрама и его оксидов в высокочастотном емкостном разряде в смеси D&sub(2)-...
Городецкий, А.Е. - Формирование пленок вольфрама и его оксидов в высокочастотном емкостном разряде в смеси D&sub(2)-...
Статья
Автор: Городецкий, А.Е.
Поверхность: Формирование пленок вольфрама и его оксидов в высокочастотном емкостном разряде в смеси D&sub(2)-...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Городецкий, А.Е.
Поверхность: Формирование пленок вольфрама и его оксидов в высокочастотном емкостном разряде в смеси D&sub(2)-...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Городецкий, А.Е.
Формирование пленок вольфрама и его оксидов в высокочастотном емкостном разряде в смеси D&sub(2)-O&sub(2) / А.Е.Городецкий, [и др.] // Поверхность. – 2017. – №12. – с.91-102. – URL: http://dx.doi.org/10.1134/S1027451017060283. – Библиогр.:28.
Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$
Городецкий, А.Е.
Формирование пленок вольфрама и его оксидов в высокочастотном емкостном разряде в смеси D&sub(2)-O&sub(2) / А.Е.Городецкий, [и др.] // Поверхность. – 2017. – №12. – с.91-102. – URL: http://dx.doi.org/10.1134/S1027451017060283. – Библиогр.:28.
Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$
