Электронный каталог

Статья

Kinnunen, S.A.
Characterization of ALD Grown Ti&sub(x)Al&sub(y)N and Ti&sub(x)Al&sub(y)C Thin Films / S.A.Kinnunen, [et al.] // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B. – 2017. – Vol.406, Pt.A. – p.152-155. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2016.12.032. – Bibliogr.:13.



Спец.(статьи,препринты) = С 345 п - Применение ускорителей в других областях науки, техники, народном хозяйстве