Электронный каталог

Статья

Митин, Д.М.
Влияние рассеяния распыленных атомов на скорость роста пленок, полученных методом магнетронного распыления / Д.М.Митин, А.А.Сердобинцев // Журнал технической физики. Письма. – 2017. – Т.43, №17. – с.78-85. – URL: http://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/44950. – Библиогр.:10.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$
Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$