Электронный каталог

Статья

Xu, X.
Design Considerations for a Compact Proton Beam Writing System Aiming for Fast Sub-10 nm Direct Write Lithography / X.Xu, [et al.] // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B. – 2017. – Vol.404. – p.243-249. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2016.12.031. – Bibliogr.:48.



Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$