Электронный каталог

Статья

Bundesmann, C.
Reactive Ar Ion Beam Sputter Deposition of TiO&sub(2) Films: Influence of Process Parameters on Film Properties / C.Bundesmann, [et al.] // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B. – 2017. – Vol.395. – p.17-23. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2017.01.078. – Bibliogr.:59.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$