Электронный каталог

Статья

Naddaf, M.
Influence of N&sub(2) Partial Pressure on Structural and Microhardness Properties of TiN/ZrN Multilayers Deposited by Ar/N&sub(2) Vacuum arc Discharge / M.Naddaf, [et al.] // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B. – 2016. – Vol.381. – p.90-95. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2016.05.029. – Bibliogr.:30.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$