Электронный каталог

Статья

Гренадеров, А.С.
Осаждение кремний-углеродных покрытий из плазмы несамостоятельного дугового разряда с накальным катодом / А.С.Гренадеров, [и др.] // Журнал технической физики. – 2016. – Т.86, №5. – с.51-56. – URL: http://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/43072. – Библиогр.:35.



Спец.(статьи,препринты) = С 353 в - Газовый разряд