Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Shapovalov, V. I. - Substrate Heating and Cooling During Magnetron Sputtering of Copper Target
Shapovalov, V. I. - Substrate Heating and Cooling During Magnetron Sputtering of Copper Target
Статья
Автор: Shapovalov, V. I.
Physics Letters A: Substrate Heating and Cooling During Magnetron Sputtering of Copper Target
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Shapovalov, V. I.
Physics Letters A: Substrate Heating and Cooling During Magnetron Sputtering of Copper Target
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Shapovalov, V.I.
Substrate Heating and Cooling During Magnetron Sputtering of Copper Target / V.I.Shapovalov, [et al.] // Physics Letters A. – 2016. – Vol.380, No.9/10. – p.882-885. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.physleta.2015.12.021. – Bibliogr.:10.
Спец.(статьи,препринты) = С 353 а - Общие вопросы физики плазмы
Shapovalov, V.I.
Substrate Heating and Cooling During Magnetron Sputtering of Copper Target / V.I.Shapovalov, [et al.] // Physics Letters A. – 2016. – Vol.380, No.9/10. – p.882-885. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.physleta.2015.12.021. – Bibliogr.:10.
Спец.(статьи,препринты) = С 353 а - Общие вопросы физики плазмы