Электронный каталог

Статья

Оскомов, К.В.
Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления / К.В.Оскомов, [и др.] // Журнал технической физики. – 2016. – Т.86, №2. – с.59-64. – URL: http://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/42741. – Библиогр.:15.



Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$