Электронный каталог

Статья

England, J.
Industrial Challenges in Ion Beam Processing and Metrology in the 3D Era / J.England, W.Moller // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B. – 2015. – Vol.365, Pt.A. – p.105-109. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2015.03.016. – Bibliogr.:8.



Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$