Электронный каталог

Статья

Баранов, Е.А.
Синтез тонких пленок a-SiO&sub(x):H методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой / Е.А.Баранов, [и др.] // Журнал технической физики. Письма. – 2015. – Т.41, №20. – с.89-95. – URL: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2015/20/p89-95.pdf. – Библиогр.:17.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$