Электронный каталог

Статья

Комаров, А.Ф.
Процессы формирования нанокластеров InAs в кремнии методом высокодозной ионной имплантации: результаты эксперимента и моделирования / А.Ф.Комаров, [и др.] // Журнал технической физики. – 2015. – Т.85, №9. – с.77-85. – URL: http://journals.ioffe.ru/jtf/2015/09/p77-85.pdf. – Библиогр.:30.



Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$