Электронный каталог

Статья

Petrov, Yu.V.
Effect of Helium Ion Beam Treatment on the Etching Rate of Silicon Nitride / Yu.V.Petrov, [et al.] // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B. – 2015. – Vol.349. – p.90-95. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2015.02.054. – Bibliogr.:31.



Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$