Электронный каталог

Статья

Depla, D.
On the Effective Sputter Yield During Magnetron Sputter Deposition / D.Depla // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B : Beam Interactins with Materials and Atoms. – 2014. – Vol.328. – p.65-69. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2014.03.001. – Bibliogr.:23.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$