Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Яфаров, Р.К. - Влияние СВЧ плазменной микрообработки на электронные свойства поверхности кристаллов кремния (100)
Яфаров, Р.К. - Влияние СВЧ плазменной микрообработки на электронные свойства поверхности кристаллов кремния (100)
Статья
Автор: Яфаров, Р.К.
Журнал технической физики: Влияние СВЧ плазменной микрообработки на электронные свойства поверхности кристаллов кремния (100)
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Яфаров, Р.К.
Журнал технической физики: Влияние СВЧ плазменной микрообработки на электронные свойства поверхности кристаллов кремния (100)
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Яфаров, Р.К.
Влияние СВЧ плазменной микрообработки на электронные свойства поверхности кристаллов кремния (100) / Р.К.Яфаров, С.А.Климова // Журнал технической физики. – 2014. – T.84, No.3. – с.103-107. – URL: http://journals.ioffe.ru/jtf/2014/03/p103-107.pdf. – Библиогр.:6.
Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$
Яфаров, Р.К.
Влияние СВЧ плазменной микрообработки на электронные свойства поверхности кристаллов кремния (100) / Р.К.Яфаров, С.А.Климова // Журнал технической физики. – 2014. – T.84, No.3. – с.103-107. – URL: http://journals.ioffe.ru/jtf/2014/03/p103-107.pdf. – Библиогр.:6.
Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$