Электронный каталог

Статья

Батурин, А.С.
Эллипсометрический способ оценки неоднородности толщины тонкопленочных покрытий / А.С.Батурин, [и др.] // Измерительная техника. – 2013. – No.11. – с.17-23. – Библиогр.:5.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$