Электронный каталог

Статья

You, H.-J.
Waveguide Slot-Excited Long Racetrack Electron Cyclotron Resonance Plasma Source for Roll-to-Roll (Scanning) Processing / H.-J.You // Review of Scientific Instruments. – 2013. – Vol.84, No.7. – p.073513. – URL: http://dx.doi.org/10.1063/1.4815822. – Bibliogr.:12.



Спец.(статьи,препринты) = С 345 н - Источники ионов и электронные пушки. Источники поляризованных ионов. Получение пучков поляризованных частиц