Электронный каталог

Статья

Burgi, J.
Reactive Sputter Magnetron Reactor for Preparation of Thin Films and Simultaneous in situ Structural Study by X-Ray Diffraction / J.Burgi, [et al.] // Review of Scientific Instruments. – 2013. – Vol.84, No.1. – p.015102. – URL: http://dx.doi.org/10.1063/1.4773002. – Bibliogr.:8.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$