Электронный каталог

Статья

Гостев, А.В.
Усовершенствование электронного тороидального спектрометра для растрового электронного микроскопа и его новые применения в диагностике структур микро- и наноэлектроники / А.В.Гостев, [и др.] // Журнал технической физики. – 2013. – T.83, No.3. – с.140-147. – URL: http://journals.ioffe.ru/jtf/2013/03/p140-147.pdf. – Библиогр.:31.



Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$