Электронный каталог

Статья

Зуев, С.Ю.
Лазерно-плазменный источник ЭУФ-излучения для проекционной нанолитографии / С.Ю.Зуев, [и др.] // Известия Российской Академии наук. Серия физическая. – 2013. – Т.77, No.1. – с.9-13. – URL: http://link.springer.com/content/pdf/10.3103%2FS1062873813010243. – Библиогр.:9.



Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$