Электронный каталог

Статья

Malhaire, C.
Comparison of Two Experimental Methods for the Mechanical Characterization of Thin or Thick Films from the Study of Micromachined Circular Diaphragms / C.Malhaire // Review of Scientific Instruments. – 2012. – Vol.83, No.5. – p.055008. – URL: http://dx.doi.org/10.1063/1.4719964. – Bibliogr.:35.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$