Электронный каталог

Статья

Мартыненко, Ю.В.
Угловое распределение атомов при магнетронном распылении поликристаллических мишеней / Ю.В.Мартыненко, [и др.] // Журнал технической физики. – 2012. – T.82, No.4. – с.13-18. – URL: http://journals.ioffe.ru/jtf/2012/04/p13-18.pdf. – Библиогр.:15.



Спец.(статьи,препринты) = С 353 а - Общие вопросы физики плазмы