Электронный каталог

Статья

Kim, D.
Deposition of Polycrystalline Si Thin Films on Glass Substrates by Direct Negative Si Ion Beam Deposition / D.Kim // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B : Beam Interactins with Materials and Atoms. – 2011. – Vol.269, No.18. – p.2017-2019. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2011.06.003. – Bibliogr.:10.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$