Электронный каталог

Статья

Kim, K.-S.
Characteristics of Anodized Polycrystalline 3C-SiC Thin Films Deposited by Using Chemical Vapor Deposition with Single-Precursor Hexamethyldisilane for Different In-Situ-Doping Concentrations / K.-S.Kim, G.-S.Chung // Journal of the Korean Physical Society. – 2011. – Vol.59, No.2. – p.285-288. – URL: http://dx.doi.org/10.3938/jkps.59.285. – Bibliogr.:18.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$