Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Сейсян, П.Н. - Нанолитография в микроэлектронике. (Обзор)
Сейсян, П.Н. - Нанолитография в микроэлектронике. (Обзор)
Статья
Автор: Сейсян, П.Н.
Журнал технической физики: Нанолитография в микроэлектронике. (Обзор)
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Сейсян, П.Н.
Журнал технической физики: Нанолитография в микроэлектронике. (Обзор)
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Сейсян, П.Н.
Нанолитография в микроэлектронике. (Обзор) / П.Н.Сейсян // Журнал технической физики. – 2011. – T.81, No.8. – с.1-14. – URL: http://journals.ioffe.ru/jtf/2011/08/p1-14.pdf. – Библиогр.:23.
Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$
Сейсян, П.Н.
Нанолитография в микроэлектронике. (Обзор) / П.Н.Сейсян // Журнал технической физики. – 2011. – T.81, No.8. – с.1-14. – URL: http://journals.ioffe.ru/jtf/2011/08/p1-14.pdf. – Библиогр.:23.
Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$