Электронный каталог

Статья

Сыресин, Е.М.
Ускорительный комплекс для экстремальной ультрафиолетовой литографии на базе ЛСЭ со средней мощностью излучения киловаттного диапазона / Е.М.Сыресин, Ю.А.Будагов, А.Г.Ольшевский, А.Н.Сисакян, Г.В.Трубников, Г.Д.Ширков, М.В.Юрков, [и др.] // Поверхность : Рентгеновские,синхротронные и нейтронные исследования. – 2011. – No.6. – с.14-19. – URL: http://www.maikonline.com/maik/showArticle.do?auid=VAGP5FJ608. – Библиогр.:10.



Спец.(статьи,препринты) = С 345 - Ускорители заряженных частиц
ОИЯИ = ОИЯИ (JINR)2011