Электронный каталог

Статья

Малыхин, Е.М.
Структура тонких пленок углерода, осажденных под EUV-излучением 13.5 нм / Е.М.Малыхин, [и др.] // Вестник Московского университета. Серия 3: Физика. Астрономия. – 2011. – No.1. – с.53-57. – URL: http://www.springerlink.com/content/816417g3453qk047/fulltext.pdf. – Библиогр.:21.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$