Электронный каталог

Статья

Герасименко, Н.Н.
Особенности формирования рельефа при травлении кремния фокусированным ионным пучком / Н.Н.Герасименко, [и др.] // Журнал технической физики.Письма. – 2010. – T.36, No.21. – с.38-45. – URL: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2010/21/p38-45.pdf. – Библиогр.:7.



Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$