Электронный каталог

Статья

Ow, Y.S.
Micromachining of Amplitude and Phase Modulated Reflective Computer Generated Hologram Patterns in Silicon / Y.S.Ow, [et al.] // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B : Beam Interactins with Materials and Atoms. – 2010. – Vol.268, No.9. – p.1416-21. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2010.01.015. – Bibliogr.:32.



Спец.(статьи,препринты) = Ц 848 - Технология производства электронной аппаратуры