Электронный каталог

Статья

Захаров, А.Н.
Пленки легированного галлием оксида цинка, нанесенные с использованием несбалансированной магнетронной распылительной системы / А.Н.Захаров, [и др.] // Журнал технической физики. – 2010. – T.80, No.5. – с.127-131. – URL: http://www.ioffe.ru/journals/jtf/2010/05/p127-131.pdf. – Библиогр.:13.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$