Электронный каталог

Статья

Швец, В.А.
О точности эллипсометрического контроля при выращивании полупроводниковых наноструктур / В.А.Швец // Оптика и спектроскопия. – 2009. – Т.107, No.5. – с.822-825. – URL: http://www.springerlink.com/content/v7k320h110180111/fulltext.pdf. – Библиогр.:11.



Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$