Электронный каталог

Книга
С353 Я-89

Яфаров, Равиль Кяшшафович.
Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Равиль Кяшшафович Яфаров. – М. : Физматлит, 2009. – 216 с. : ил. – URL: http://www.fizmatkniga.ru/catalog/st-d1c2d7/product-3503/. – Библиогр.:с.205-216. – ISBN 978-5-922111-50-8.

С353 + С33а
533.9


Индексный (книги) = С 353 - Физика плазмы. Ионизация газов. Фотоионизация. Термоионизация. Ионизация столкновением. Электрический пробой газов. Отдельные виды газового разряда. Преобразование тепловой энергии в электрическую
Индексный (книги) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология
Ключевых слов = плазменная электроника СВЧ
Ключевых слов = газовые разряды
Ключевых слов = магнитное поле
Ключевых слов = СВЧ-плазма
Ключевых слов = электромагнитные волны
Ключевых слов = сверхвысокочастотное плазмохимическое травление
Ключевых слов = кремниевые материалы
Ключевых слов = наноалмазные кристаллиты