Электронный каталог

Статья

Сенников, П.Г.
Получение слоев нанокристаллического кремния плазмохимическим осаждением из газовой фазы тетрафторида кремния / П.Г.Сенников, [и др.] // Физика и техника полупроводников. – 2009. – Т.43,No.7. – с.1002-1006. – URL: http://www.ioffe.ru/journals/ftp/2009/07/p1002-1006.pdf. – Библиогр.:32.



Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$