Электронный каталог

Статья

Pletea, M.
In Situ Stress Evolution During and After Sputter Deposition of Al Thin Films / M.Pletea, [a.o.] // Journal of Physics: Condensed Matter. – 2009. – Vol.21, No.22. – p.225008. – URL: http://dx.doi.org/10.1088/0953-8984/21/22/225008. – Bibliogr.:46.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$