Электронный каталог

Статья

Ташлыков, И.С.
Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок / И.С.Ташлыков, [и др.] // Поверхность : Рентгеновские,синхротронные и нейтронные исследования. – 2009. – No.5. – с.92-95. – URL: http://www.maikonline.com/maik/showArticle.do?auid=VAFU2I9R21. – Библиогр.:18.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$