Электронный каталог

Статья

Sano, Y.
Fabrication of Ultrathin and Highly Uniform Silicon on Insulator by Numerically Controlled Plasma Chemical Vaporization Machining / Y.Sano, [et al.] // Review of Scientific Instruments. – 2007. – Vol.78, No.8. – p.086102. – URL: http://dx.doi.org/10.1063/1.2766836. – Bibliogr.:7.



Спец.(статьи,препринты) = Ц 738.21 - Интегральные схемы. Микросхемотехника