Электронный каталог

Статья

Kim, H.-J.
High-Throughput Analysis of Thin-Film Stresses Using Arrays of Micromachined Cantilever Beams / H.-J.Kim, [a.o.] // Review of Scientific Instruments. – 2008. – Vol.79, No.4. – p.045112. – URL: http://dx.doi.org/10.1063/1.2912826. – Bibliogr.:15.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$