Электронный каталог

Статья

Салащенко, Н.Н.
Коротковолновая проекционная нанолитография / Н.Н.Салащенко, Н.И.Чхало // Вестник Российской Академии наук. – 2008. – Т.78, No.5. – с.450-457. – Библиогр.:31.



Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$