Электронный каталог

Книга
С36.13 К-63

Комаров, Фадей Фадеевич.
Физические процессы при ионной имплантации в твердые тела / Фадей Фадеевич Комаров, Александр Фадеевич Комаров. – Минск : УП "Технопринт", 2001. – 395 с. – Библиогр.:в конце гл. – ISBN 985-464-113-9.

С36.13
531.02


Индексный (книги) = С 36.13 - Рассеяние медленных нейтронов и др.частиц в твердых телах и жидкостях. Дифракция нейтронов. Магнитная нейтронография. Неупругое рассеяние нейтронов. Ионная имплантация
Ключевых слов = ионная имплантация
Ключевых слов = полупроводники
Ключевых слов = дефектообразования
Ключевых слов = ионы
Ключевых слов = кристаллы
Ключевых слов = кремний
Ключевых слов = твердое тело
Ключевых слов = керамические материалы
Ключевых слов = металлы