Электронный каталог

Статья

Балыкин, В.И.
Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур / В.И.Балыкин // Успехи физических наук. – 2007. – Т.177, No.7. – с.780-786. – URL: http://data.ufn.ru//ufn07/ufn07_7/Russian/r077f.pdf. – Библиогр.:40.



Спец.(статьи,препринты) = Ц 848 - Технология производства электронной аппаратуры