Электронный каталог

Статья

Струнин, В.И.
Текстура тонких пленок нитрида алюминия, полученных методом магнетронного распыления / В.И.Струнин, [и др.] // Журнал технической физики. Письма. – 2025. – Т. 51, № 19-20. – С. 46-49(№20). – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/61402. – Библиогр.: 14.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$