Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Шибалов, М.В. - Исследование неоднородности свойств тонких пленок нитрида ниобия, полученных методом атомно-слоев...
Шибалов, М.В. - Исследование неоднородности свойств тонких пленок нитрида ниобия, полученных методом атомно-слоев...

Статья
Автор: Шибалов, М.В.
Журнал технической физики: Исследование неоднородности свойств тонких пленок нитрида ниобия, полученных методом атомно-слоев...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Шибалов, М.В.
Журнал технической физики: Исследование неоднородности свойств тонких пленок нитрида ниобия, полученных методом атомно-слоев...
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Шибалов, М.В.
Исследование неоднородности свойств тонких пленок нитрида ниобия, полученных методом атомно-слоевого осаждения / М.В.Шибалов, [и др.] // Журнал технической физики. – 2025. – Т. 95, № 1. – С. 84-89. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/59463. – Библиогр.: 23.
Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$
Шибалов, М.В.
Исследование неоднородности свойств тонких пленок нитрида ниобия, полученных методом атомно-слоевого осаждения / М.В.Шибалов, [и др.] // Журнал технической физики. – 2025. – Т. 95, № 1. – С. 84-89. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/59463. – Библиогр.: 23.
Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$